1. הגדרת מערכת גז בתפזורת:
אחסון ובקרת לחץ של גזים אינרטיים סוגי גזים: גזים אינרטיים אופייניים (חנקן, ארגון, אוויר דחוס וכו')
גודל צינור: מ-1/4 (צינור ניטור) ועד צינור ראשי בגודל 12 אינץ'
המוצרים העיקריים של המערכת הם: שסתום דיאפרגמה/שסתום מפוח/שסתום כדורי, מחבר בטוהר גבוה (VCR, צורת ריתוך), מחבר פרול, שסתום ויסות לחץ, מד לחץ וכו'.
נכון להיום, המערכת החדשה כוללת גם מערכת גז מיוחדת בתפזורת, העושה שימוש בבלוני גז קבועים או משאיות מיכלים לאחסון ושינוע.
2. הגדרת מערכת טיהור:
הסרת זיהומים מגזים בתפזורת עבור צינורות גז בטוהר גבוה
3. הגדרה של ארונות גז:
לספק בקרת לחץ וניטור זרימה עבור מקורות גז מיוחדים (גזים רעילים, דליקים, תגובתיים, קורוזיביים), ויש להם את היכולת להחליף בלוני גז.
מיקום: ממוקם בקומת Sub-fab או בקומה התחתונה לאחסון גזים מיוחדים מקור: NF3, SF6, WF6 וכו'.
גודל צינור: צינור גז פנימי, בדרך כלל 1/4 אינץ' עבור צינור תהליך, 1/4-3/8 אינץ' בעיקר עבור צינור טיהור חנקן בטוהר גבוה.
מוצרים עיקריים: שסתומי דיאפרגמה בטוהר גבוה, שסתומי סימון, מדי לחץ, מדי לחץ, מחברים בטוהר גבוה (VCR, טופס ריתוך) ארונות גז אלו מכילים בעצם יכולות מיתוג אוטומטי לצילינדרים כדי להבטיח אספקת גז רציפה והחלפה בטוחה של צילינדרים.
4. הגדרת התפלגות:
חיבור מקור הגז לסליל איסוף הגז
גודל קו: במפעל השבבים, גודלו של צינור חלוקת הגז בתפזורת נע בדרך כלל בין 1/2 אינץ' ל-2 אינץ'.
צורת חיבור: צינורות גז מיוחדים מחוברים בדרך כלל באמצעות ריתוך, ללא כל חיבור מכני או חלקים נעים אחרים, בעיקר בגלל שלחיבור הריתוך יש אמינות אטימה חזקה.
במפעל שבבים, יש מאות קילומטרים של צינורות המחוברים להעברת גז, שאורכם בעצם כ-20 רגל ומרותכים יחד. כמה כיפופי צינורות וחיבורי ריתוך צינורות נפוצים מאוד גם הם.
5. תיבת שסתומים רב תכליתית (תיבת סעפת שסתום, VMB) הגדרה:
זה להפיץ גזים מיוחדים ממקור הגז לקצוות ציוד שונים.
גודל צינור פנימי: צינור תהליך של 1/4 אינץ' וצינור טיהור בגודל 1/4 - 3/8 אינץ'. המערכת עשויה להשתמש בבקרת מחשב כדי לדרוש שסתומים מופעלים או מצבי עלות נמוכה יותר עם שסתומים ידניים.
מוצרי מערכת: שסתומי דיאפרגמה/שסתומי מפוח בטוהר גבוה, שסתומי סימון, מפרקים בטוהר גבוה (VCR, צורת ריתוך מיקרו), שסתומי ויסות לחץ, מדי לחץ ומדדי לחץ וכו'. להפצה של כמה גזים אינרטיים, לוח סעפת השסתום - בעיקר נעשה שימוש ב-VMP (דיסק שסתומים רב תכליתי), בעל משטח דיסק גז פתוח ואינו מצריך עיצוב חלל סגור וטיהור חנקן נוסף.
6. לוח/תיבה משנית של שסתום (לוח חיבור לכלים) הגדרה:
חבר את הגז הנדרש על ידי ציוד המוליכים למחצה ממקור הגז לקצה הציוד וספק ויסות לחץ מתאים. פאנל זה הוא מערכת בקרת גז הקרובה יותר לקצה הציוד מאשר ה-VMB (תיבת שסתומים רב-תכליתיים).
גודל צינור גז: 1/4 - 3/8 אינץ'
גודל צינור נוזל: 1/2 - 1 אינץ'
גודל צינור פריקה: 1/2 - 1 אינץ'
מוצרים עיקריים: שסתום דיאפרגמה/שסתום מפוח, שסתום חד כיווני, שסתום ויסות לחץ, מד לחץ, מד לחץ, מפרק בטוהר גבוה (VCR, מיקרו-ריתוך), מפרק פרול, שסתום כדורי, צינור וכו'.
זמן פרסום: 22 בנובמבר 2024