1. הגדרת מערכת גז בתפזורת:
אחסון ובקרת לחץ של גזים אינרטיים סוגי גז: גזים אינרטיים אופייניים (חנקן, ארגון, אוויר דחוס וכו')
גודל צינור: מ-1/4 (צינור ניטור) ועד צינור ראשי בגודל 12 אינץ'
המוצרים העיקריים של המערכת הם: שסתום דיאפרגמה/שסתום מפוח/שסתום כדורי, מחבר ניקיון גבוה (VCR, צורת ריתוך), מחבר טבעת הידוק, שסתום ויסות לחץ, מד לחץ וכו'.
נכון לעכשיו, המערכת החדשה כוללת גם מערכת גז מיוחדת בכמות גדולה, המשתמשת בבלוני גז קבועים או במשאיות מיכליות לאחסון והובלה.
2. הגדרת מערכת טיהור:
הסרת זיהומים מגזים בתפזורת עבור צינורות גז בעלי טוהר גבוה
3. הגדרת ארונות גז:
לספק בקרת לחץ וניטור זרימה עבור מקורות גז מיוחדים (גזים רעילים, דליקים, ריאקטיביים, קורוזיביים), ולהיות בעלי יכולת להחליף בלוני גז.
מיקום: ממוקם בקומת תת-המפעל או בקומה התחתונה לאחסון גזים מיוחדים. מקור: NF3, SF6, WF6 וכו'.
גודל צינור: צינור גז פנימי, בדרך כלל 1/4 אינץ' עבור צינור תהליך, 1/4-3/8 אינץ' בעיקר עבור צינור ניקוי חנקן בעל טוהר גבוה.
מוצרים עיקריים: שסתומי דיאפרגמה בעלי טוהר גבוה, שסתומי אל-חזור, מדי לחץ, מדי לחץ, מחברים בעלי טוהר גבוה (VCR, צורת ריתוך). ארונות גז אלה מכילים בעיקרון יכולות מיתוג אוטומטיות עבור בלונים כדי להבטיח אספקת גז רציפה והחלפה בטוחה של בלונים.
4. הגדרת התפלגות:
חיבור מקור הגז לסליל איסוף הגז
גודל קו: במפעל השבבים, גודל צינור חלוקת הגז בתפזורת נע בדרך כלל בין 1/2 אינץ' ל-2 אינץ'.
צורת חיבור: צינורות גז מיוחדים מחוברים בדרך כלל באמצעות ריתוך, ללא כל חיבור מכני או חלקים נעים אחרים, בעיקר משום שלחיבור הריתוך יש אמינות איטום חזקה.
במפעל שבבים, ישנם מאות קילומטרים של צינורות המחוברים להעברת גז, שאורכם בעצם כ-6 מטרים ומרותכים יחד. כיפופי צינורות וחיבורי ריתוך צינוריים נפוצים גם הם.
5. הגדרת תיבת שסתומים רב-תכליתית (תיבת סעפת שסתומים, VMB):
זהו חלוקת גזים מיוחדים ממקור הגז לקצוות שונים של ציוד.
גודל צינור פנימי: צינור תהליך בקוטר 1/4 אינץ', וצינור ניקוי בקוטר 1/4 - 3/8 אינץ'. המערכת עשויה להשתמש בבקרת מחשב כדי לדרוש שסתומים מופעלים או למצבים של עלויות נמוכות יותר עם שסתומים ידניים.
מוצרי מערכת: שסתומי דיאפרגמה/מפוח בעלי טוהר גבוה, שסתומי אל-חזור, חיבורים בעלי טוהר גבוה (VCR, צורת ריתוך מיקרו), שסתומי ויסות לחץ, מדי לחץ ומדדי לחץ וכו'. לפיזור גזים אינרטיים מסוימים, משתמשים בעיקר בפאנל סעפת שסתום - VMP (דיסק שסתום רב-תכליתי), בעל משטח דיסק גז פתוח ואינו דורש תכנון חלל סגור וניקוי חנקן נוסף.
6. לוח/קופסת שסתום משני (לוח חיבור כלים) הגדרה:
חברו את הגז הנדרש על ידי ציוד המוליך למחצה ממקור הגז לקצה הציוד וספקו ויסות לחץ מתאים. לוח זה הוא מערכת בקרת גז הקרובה יותר לקצה הציוד מאשר ה-VMB (תיבת שסתום רב-תכליתית).
גודל צינור גז: 1/4 - 3/8 אינץ'
גודל צינור נוזלים: 1/2 - 1 אינץ'
גודל צינור פריקה: 1/2 - 1 אינץ'
מוצרים עיקריים: שסתום דיאפרגמה/שסתום מפוח, שסתום חד כיווני, שסתום ויסות לחץ, מד לחץ, מד לחץ, חיבור טוהר גבוה (VCR, ריתוך מיקרו), חיבור טבעת הידוק, שסתום כדורי, צינור וכו'.
זמן פרסום: 22 בנובמבר 2024