המשמעות של צנרת גז בטוהר גבוה למוליכים למחצה

As מוֹלִיך לְמֶחֱצָהוטכנולוגיות מיקרו-אלקטרוניות מתפתחות לקראת ביצועים גבוהים יותר ואינטגרציה גבוהה יותר, דרישות גבוהות יותר מונחות על טוהר הגזים המיוחדים האלקטרוניים. טכנולוגיית צנרת גז בטוהר גבוה היא חלק חשוב ממערכת אספקת הגז בטוהר גבוה. זוהי טכנולוגיית המפתח לאספקת גזים בטוהר גבוה העומדים בדרישות לנקודות השימוש בגז תוך שמירה על איכות מוסמכת.

טכנולוגיית צנרת בטוהר גבוה כוללת תכנון נכון של המערכת, בחירת אביזרי צנרת וחומרי עזר, בנייה והתקנה ובדיקה.

01תפיסה כללית של צנרת הולכת גז

כל הגזים בעלי הטוהר והניקיון הגבוה צריכים להיות מועברים לנקודת הגז המסוף דרך צינורות. על מנת לעמוד בדרישות איכות התהליך לגז, כאשר מדד ייצוא הגז בטוח, יש צורך יותר לשים לב לבחירת החומר ולאיכות הבנייה של מערכת הצנרת. בנוסף לדיוק של ציוד הפקת הגז או הטיהור, הוא מושפע במידה רבה מגורמים רבים של מערכת הצינורות. לכן, בחירת הצינורות צריכה לעמוד בעקרונות תעשיית הטיהור הרלוונטיים ולסמן את חומר הצינורות בציורים.

02המשמעות של צינורות בטוהר גבוה בהובלת גז

המשמעות של צינורות בטוהר גבוה בהובלת גז בטוהר גבוה במהלך תהליך ההתכת נירוסטה, כל טון יכול לספוג כ-200 גרם גז. לאחר עיבוד הנירוסטה, לא רק שמזהמים שונים תקועים על פני השטח שלה, אלא גם כמות מסוימת של גז נספגת בסריג המתכת שלה. כאשר ישנה זרימת אוויר העוברת בצנרת, חלק הגז הנקלט במתכת ייכנס מחדש לזרימת האוויר ויזהם את הגז הטהור.

כאשר זרימת האוויר בצינור אינה רציפה, הצינור יוצר ספיחת לחץ על הגז העובר דרכו. כאשר זרימת האוויר מפסיקה לעבור, הגז שנספג בצינור יוצר ניתוח הפחתת לחץ, והגז המנותח גם נכנס לגז הטהור בצינור כטומאה.

במקביל, מחזור הספיחה והניתוח יגרום למתכת על פני השטח הפנימיים של הצינור לייצר כמות מסוימת של אבקה. חלקיק אבק מתכת זה מזהם גם את הגז הטהור בצינור. מאפיין זה של הצינור חשוב מאוד. על מנת להבטיח את טוהר הגז המועבר, לא רק שנדרשת כי פני השטח הפנימיים של הצינור יהיו בעלי חלקות גבוהה במיוחד, אלא גם שתהיה לו עמידות בפני שחיקה גבוהה.

כאשר לגז יש תכונות קורוזיביות חזקות, יש להשתמש בצינורות נירוסטה עמידים בפני קורוזיה לצנרת. אחרת יופיעו כתמי קורוזיה על פני השטח הפנימיים של הצינור עקב קורוזיה. במקרים חמורים, חתיכות מתכת גדולות יתקלפו או אפילו יחוררו, ובכך יזהו את הגז הטהור המועבר.

03חומר צינור

בחירת החומר של הצינור צריכה להיבחר בהתאם לצרכי השימוש. איכות הצינור נמדדת בדרך כלל על פי החספוס של המשטח הפנימי של הצינור. ככל שהחספוס נמוך יותר, הסיכוי לשאת חלקיקים קטן יותר. בדרך כלל מתחלקים לשלושה סוגים:

אחד הואצינור EP כיתה 316L, שעבר ליטוש אלקטרוליטי (אלקטרו-פוליש). הוא עמיד בפני קורוזיה ובעל חספוס משטח נמוך. Rmax (מקסימום שיא לגובה העמק) הוא כ-0.3μm או פחות. יש לו את השטיחות הגבוהה ביותר ולא קל ליצור זרמי מערבולת מיקרו. הסר חלקיקים מזוהמים. גז התגובה המשמש בתהליך צריך להיות צינור ברמה זו.

אחד הוא אBA ציון 316Lצינור, אשר טופל על ידי Bright Anneal ומשמש לעתים קרובות לגזים שנמצאים במגע עם השבב אך אינם משתתפים בתגובת התהליך, כגון GN2 ו-CDA. האחד הוא צינור AP (חישול וקטיף), שאינו מטופל במיוחד ומשמש בדרך כלל עבור סטים כפולים של צינורות חיצוניים שאינם משמשים כקווי אספקת גז.

04 בניית צינור

עיבוד פתח הצינור הוא אחת מנקודות המפתח של טכנולוגיית בנייה זו. חיתוך הצנרת והיצור הטרומי מתבצעים בסביבה נקייה, ובמקביל, מובטח שלא יהיו סימנים מזיקים או נזק על פני הצינור לפני החיתוך. יש לבצע הכנות לשטיפת חנקן בצנרת לפני פתיחת הצינור. באופן עקרוני, ריתוך משמש לחיבור צינורות ההולכה והחלוקה של גז בטוהר גבוה ובניקיון גבוה עם זרימה גדולה, אך אסור לריתוך ישיר. יש להשתמש במפרקי מעטפת, וחומר הצינור המשמש נדרש ללא שינוי במבנה במהלך הריתוך. אם החומר בעל תכולת פחמן גבוהה מדי מרותך, חדירות האוויר של חלק הריתוך תגרום לגז בתוך ומחוץ לצינור לחדור זה לזה, ולהרוס את הטוהר, היובש והניקיון של הגז המעביר, מה שיוביל לתוצאות חמורות. ולהשפיע על איכות הייצור.

לסיכום, עבור צינורות הולכה של גז בטוהר גבוה וגז מיוחד, יש להשתמש בצינור נירוסטה בטוהר גבוה במיוחד, מה שגורם למערכת הצנרת הטוהר הגבוהה (כולל צינורות, אביזרי צנרת, שסתומים, VMB, VMP) לתפוס מקום. משימה חיונית בהפצת גז בטוהר גבוה.